چکیده: در این پایان نامه به بررسی اصول علمی ، طراحی و بهینه سازی مهندسی ژیروسکوپ‌های ارتعاشی میکروالکترومکانیکی MEMS پرداخته می‌شود. این پایان‌نامه پس از مروری مختصر بر فناوری MEMS به بررسی پارامتر های مهم در ساختار این نوع از وسایل می پردازد ودر ادامه ژیروسکوپ‌های ارتعاشی معرفی شده و به اصول طراحی کلی و عمومی مکانیکی و الکتریکی ژیروسکوپ‌های ارتعاشی MEMS پرداخته می‌شود. مسئله انطباق مد‌های تحریک و تشخیص، عوامل موثر بر کارایی همچون فرکانس های تشدید، پهنای باند، میرایی و ضریب کیفیت بررسی شده و مدلسازی های مختلفی انجام و مورد بحث قرار می‌گیرد. این پایان‌نامه با رویکرد مقاوم سازی مکانیکی ژیروسکوپ در مقابل تغییرات محیطی و ساختاری، به عنوان یک ایده و روش جدید، سعی در بهینه سازی سیستم ژیروسکوپ دارد.