چکیده: حسگرهای گاز مبتنی بر نیم‌رساناهای اکسید فلزی یکی از پرکاربردترین فناوری‌ها در زمینه‌ تشخیص و اندازه‌گیری گازها به شمار می‌روند. نیم‌رساناهای اکسید فلزی به دلیل خواص منحصر به فرد خود و پتانسیل تجاری‌سازی، نقش کلیدی در شناسایی گاز متان (CH4) ایفا می‌کنند. این رساله به بررسی و توسعه حسگرهای گاز متان مبتنی بر اکسیدهای وانادیوم پرداخته شد. در این پژوهش، نانوساختار VOx با استفاده از روش کندوپاش-‌اکسیداسیون ثانویه سنتز و خواص حسگری آن نسبت به گاز متان نشان دهنده توانایی سنجش در دمای اتاق بدون نیاز به انرژی فعالساز با زمان پاسخ و بازیابی (2 و 3 ثانیه) بسیار سریع بود. علاوه بر این، ارزیابی گزینش‌گری این نمونه گزینش‌گری بالایی نسبت به سایر گازهای مزاحم، از جمله استون و مونوکسید کربن، از خود نشان داد. در ادامه، نانوساختار VO2 با استفاده از روش هیدروترمال سنتز و خواص حسگری حسگر مبتنی بر آن عملکرد ضعیفی در مقابل گاز متان در دمای اتاق از خود نشان داد، اما با افزایش دمای عملکرد به ℃50، پاسخ حسگر به غلظت‌های مختلف گاز متان به طور قابل توجهی بهبود یافت، به طوری که کمینه مقدار قابل تشخیص ppm100 اندازه‌گیری شد. این نمونه نیز قابلیت گزینش‌گری برجسته‌ای به گاز متان در مقابل دیگر گازها به نمایش گذاشت. درنهایت، با استفاده از روش هیدروترمال نانوتسمه‌های V2O5 سنتز و خواص حسگری آن‌ها به عنوان ماده حساس در دمای اتاق و دمای عملکرد ℃50 مورد بررسی قرار گرفت. عملکرد حسگر در دمای اتاق پاسخ قابل قبولی را از خود به نمایش نگذاشته، اما با افزایش دما بهبود قابل توجهی در پاسخ و کمینه غلظت قابل تشخیص (ppm 200) حاصل شد. تغییر نوع نیم‌رسانا نوع n به نوع p با افزایش دما از دمای اتاق به دمای ℃50 از تغییرات محسوسی بر خواص حسگری این نمونه اعمال کرد.